本站消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法”股票配资安全,专利申请号为CN202110282766.3,授权日为2025年3月25日。
专利摘要:本发明提供一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法,所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板;所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构;所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构;所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至少2段式花纹结构。所述滚花方法包括以下步骤:(1)对靶材的端面进行第一分段式滚花;(2)对靶材的端面与侧面的连接处R角进行第二分段式滚花;(3)对靶材的滚花区域进行抛光处理。其中,步骤(1)与(2)不分先后顺序。本发明有效地防止了靶材在溅射过程中反溅射物的脱落,保护了晶圆免受损伤,提升了镀膜质量,延长了靶材组件的使用寿命。
今年以来江丰电子新获得专利授权18个,较去年同期减少了25%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.02亿元,同比增30.77%。
数据来源:天眼查APP
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